UV-Negativ-Fotolack
ST-PR201-Serie
- Negativer chemischer Verstärkungsfilm
◎ Hohes Seitenverhältnis, hohe Vertikalität und hohe Transparenz
◎ Hohe chemische Stabilität und ausgezeichnete Temperaturbeständigkeit
◎ Kann als Passivierungsschicht oder Schutzschicht verwendet werden
◎ Anwendbar für die MEMS-Fertigung, Mikrofluidik, Biochips und optoelektronische Bauelemente
◎ Ein hervorragendes Material zur Herstellung verschiedener Karosseriestrukturen und zur Durchführung von LIGA-Prozessen 
Abbildung: Kurve der Rotationsgeschwindigkeit beim Spin-Coating von ST-PR201 in Abhängigkeit von der Schichtdicke
ST-PR20M-Serie
- ◎ Ausgezeichnete Beständigkeit gegen Ätzung
◎ Geeignet für PVD- und Lift-off-Prozesse
◎ Ausgezeichnete chemische Stabilität, geeignet für galvanische Verfahren
◎ Thermische Stabilität 
