UV-positiver Fotolack

Produktdetails

ST-PR101-Serie

◎ Ausgezeichnete Haftung und Gleichmäßigkeit
◎ Geeignet für die Bearbeitung im Mikrobereich
◎ Für Trocken- und Nassverfahren
Abbildung: Kurve der Rotationsgeschwindigkeit beim Spin-Coating von ST-PR101 in Abhängigkeit von der Schichtdicke
Abbildung: Auflösung von ST-PR101 nach Entwicklung und Exposition

ST-PR102-Serie

◎ Hochauflösendes, hochhaftendes Positivharz
◎ Anwendbar sowohl auf Trocken- als auch auf Nassätzen

Abbildung: Kurve der Rotationsgeschwindigkeit beim Spin-Coating von ST-PR102 in Abhängigkeit von der Schichtdicke

ST-PR103-Serie

◎ Ausgezeichnete Haftung und Vertikalität
◎ Anwendbar auf Nass- und Trockenätzverfahren
◎ Geeignet für galvanische Verfahren
◎ Weit verbreitet in MEMS- und Bump-Prozessen

Abbildung: Kurve der Rotationsgeschwindigkeit beim Spin-Coating von ST-PR103 in Abhängigkeit von der Schichtdicke

ST-PR107-Serie

◎ Hochauflösendes, hochhaftendes Positivharz
◎ Anwendbar sowohl auf Trocken- als auch auf Nassätzen
Abbildung: Geschwindigkeits-Dicken-Kurve des ST-PR107-Schleuderbeschichtungsverfahrens
Abbildung: Auflösung von ST-PR107 nach Entwicklung und Belichtung