fotorresistente UV positivo

Série ST-PR101

• ◎ Excelente adesão e uniformidade
  ◎ Adequado para usinagem em microescala
  ◎ Para tecnologias de processos a seco e úmido
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• Figura: Curva de velocidade de rotação versus espessura do revestimento por rotação ST-PR101
• Figura: Resolução do ST-PR101 após revelação e exposição.

Série ST-PR102

• ◎ Resina positiva de alta resolução e alta adesão
  ◎ Aplicável a processos de corrosão seca e corrosão úmida
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Figura: Curva de velocidade de rotação versus espessura do revestimento por rotação ST-PR102

Série ST-PR103

• ◎ Excelente adesão e verticalidade
  ◎ Aplicável a processos de corrosão úmida e corrosão seca
  ◎ Adequado para processos de galvanoplastia
  ◎ Amplamente utilizado em processos MEMS e Bump
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Figura: Curva de velocidade de rotação versus espessura do revestimento por rotação ST-PR103

Série ST-PR107

• ◎ Resina positiva de alta resolução e alta adesão
  ◎ Aplicável a processos de corrosão seca e corrosão úmida
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• Figura: Curva de velocidade-espessura da deposição por rotação ST-PR107
• Figura: Resolução do ST-PR107 após revelação e exposição.