适用于高分辨率图案转移的负性光刻胶材料
产品概述
在曝光区域发生交联反应,该交联反应不溶于显影液,形成负像图案。它具有良好的耐蚀刻性和耐电镀性,广泛应用于集成电路、先进封装和微机电系统(MEMS)制造工艺中。
核心功能
- 高灵敏度
- 出色的线宽控制
- 良好的粘合性
低缺陷密度
应用领域
半导体封装
- MEMS器件
- 先进包装
- 晶圆级封装
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