UV正性光刻胶

ST-PR101系列

• ◎ 优异的附着力和均匀性
  ◎ 适用于微尺度加工
  ◎ 适用于干法和湿法工艺技术
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• 图：ST-PR101旋涂转速与厚度曲线
• 图：ST-PR101显影和曝光后的分辨率

ST-PR102系列

• ◎ 高分辨率、高粘合力正片树脂
  ◎ 适用于干法刻蚀和湿法刻蚀工艺
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图：ST-PR102旋涂转速与厚度曲线

ST-PR103系列

• ◎ 优异的附着力和垂直度
  ◎ 适用于湿法刻蚀和干法刻蚀工艺
  ◎ 适用于电镀工艺
  ◎ 广泛应用于MEMS和凸点工艺
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图：ST-PR103旋涂转速与厚度曲线

ST-PR107系列

• ◎ 高分辨率、高粘合力正片树脂
  ◎ 适用于干法刻蚀和湿法刻蚀工艺
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• 图：ST-PR107旋涂速度-厚度曲线
• 图：ST-PR107显影和曝光后的分辨率